倉敷化工 KURASHIKI KAKO線性馬達型主動式除(chú)震(zhèn)台 L Type 係列
L Type 係列 .主動式除震台 .相較於氣壓方(fāng)式,空氣的使用量少,所以具有更優(yōu)越的(de)除震功能 ※LC TYPE完全不必使用氣壓 .在高頻(pín)率(lǜ)領域也可控製
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在線谘(zī)詢L Type 係列
.主動式除震台
.相較於氣壓方式,空氣的使用量少,所以具有更優越的除震(zhèn)功(gōng)能
※LC TYPE完全不必使(shǐ)用氣壓
.在高頻率領域也可控(kòng)製
LS TYPE
・L係列的旗(qí)艦型
・FB・FF控製具有出色的主動隔(gé)震性能(néng)
主要用途(tú)
・掃描型電子顯微鏡
・掃描型探針顯微鏡
・表麵檢查設備等
LH TYPE
・圓頂萬(wàn)象活塞和螺(luó)旋彈簧的混和構造
・實現小型化,不占空間
・適合高重心設備
主要用途
・穿透式電(diàn)子(zǐ)顯微鏡
・掃描型電子顯(xiǎn)微鏡等
LC TYPE
・提供垂直FB、水平FB、FF等機能需求的選擇
・選擇需求的機能,客製價格(gé)合理實惠的主動式除震台
・無須氣(qì)壓源
主(zhǔ)要用途
・泛用掃描式電子(zǐ)顯微(wēi)鏡
・表(biǎo)麵檢(jiǎn)查設備等
LS TYPE
LH TYPE
LC TYPE
產品規格
LS TYPE
EST-L4SR | EST-L5SR | EST-L6SR | |
驅動機構 | 線性馬(mǎ)達 | ||
控製方式 | FB、FF 6自由度控製 | ||
水平調整方式 | 自動水平(píng) | ||
控製(zhì)器※1 | 數位式控製 | ||
最大搭載重量(kg)※2 | 120 | 210 | 390 |
外形尺(chǐ)寸(mm) A | 200x200 | 200x200 | 230x230 |
安裝尺寸(mm) B | 180x180 | 180x180 | 210x210 |
作動時高度(mm) | 169 | 169 | 169 |
製品(pǐn)重量(kg) | 10 | 10 | 14 |
LH TYPE
EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
驅動機構 | 線性馬達 | |||||
控製方式 | FB、FF 6自由度控製 | |||||
水平碉整方式 | 自動水平 | |||||
控(kòng)製器※1 | 數位式控製 | |||||
搭載重(chóng)量(kg)※2 | 190〜320 | 240〜350 | 290〜400 | 340〜570 | 500〜660 | 630〜750 |
外形尺寸(mm) A | 220x220 | 240x240 | ||||
安裝尺寸(mm) B | 200x200 | 220x220 | ||||
作動時高度(mm) | 176 | 185 | ||||
製品重量(kg) | 20 | 29 |
LC TYPE
EST-L100-☐☐ ※1 | |
驅動機構 | 線(xiàn)性馬達 |
控製方式 | 垂直(zhí)FB •水平FBヽFF 6控製 可選配 |
水平調整(zhěng)方式 | 手動式水平 |
控製器 | 類比式控(kòng)製※2 |
搭載重量(kg)※3 | 25 〜100 |
外形尺(chǐ)寸(mm) A | 100 x 100 x 100 |
安裝尺寸(mm) B | 92x92 |
作(zuò)動(dòng)時高(gāo)度(mm) | 100 |
製品重量(liàng)(kg) | 2.5 |
LS/LH專用控製器 | LS/LH專(zhuān)用電(diàn)源 | LC專用FF控製器(選配) | LC專用電源 | |
外(wài)型 (WxDxHmm) | 150x130x62 | 180x220x100 | 160x250x40 | 160x250x50 |
重量(kg) | 1kg | 3 kg | 1.6kg | 1.9kg |